选用阿尔卡特多联干式真空泵，一般大部份用于纳米化学真空镀层。行业要求比较严苛，

1:无粉尘颗粒产生的污染;

2：无碳氢化合物污染;冷凝性气体处理能力强；良好的兼容性与适应性.

泵使用一定时间后会出现的问题：
1、真空泵转子卡死：
2、真空泵电机烧坏：
3、真空泵真空度不足：
4、真空泵运行温度过高：
5、真空泵运行声音大：
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