维修ULVAC爱发科PRC-036D干式真空泵厂家

特点

LR系列：

除了在低温范围内浸泡温度惰性气体排出外，它特别适用于装卸室中的排气，重要的是缩短排气时间以增加产量

HR系列/ UR系列：

可以在气体状态下排出在高温区域浸泡CVD，蚀刻等产生的升华废气物质

1000毫秒内瞬时中断的对策

CE兼容（可选）

使用

活性气体（CVD，干蚀刻等）

惰性气体排放（溅射，气相沉积，热处理等）

缩短装卸室的疏散时间（LR系列）

粉末生成过程中的废气（Si单晶拉制等）

作为辅助排气泵（涡轮分子泵，机械增压泵辅助排气）